在紫外線輻射下，通過電子放射或暴曬從雙原子氧氣可自然形成臭氧。工業上，用干燥的空氣或氧氣，采用5~25kv的交流電壓進行無聲放電制取。另外，在低溫下電解稀硫酸，或將液體氧氣加熱都可制得臭氧。

臭氧是地球大氣中一種微量氣體，它是由于大氣中氧分子受太陽輻射分解成氧原子后，氧原子又與周圍的氧分子結合而形成的，含有3個氧原子。

臭氧的半衰期僅為30-60min。由于它不穩定、易分解，無法作為一般的產品貯存，因此需在現場制造。用空氣制成臭氧的濃度一般為10-20mg/L，用氧氣制成臭氧的濃度為20-40mg/L。含有1%-4%(質量比)臭氧的空氣可用于水的消  毒處理。

產生臭氧的方法是用干燥空氣或干燥氧氣作原料，通過放電法制得。另一個生產的臭氧的方法是電解法，將水電解變成氧元素，然后使其中的自由氧變成臭氧。

使用電解系統生產臭氧的主要優點是：

①  沒有離子污染；

②  待消  毒處理的水是用來產生臭氧的原料，因此沒有來自系統外部的其他污染；

③  臭氧在處理過程中一生成就被溶解，即可以用較少的設備進行臭氧處理。

若在加壓條件下，可生產出較高濃度的臭氧。